正在不突出上述额度及决议有用期内
1.1 公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
1.3 公司负责人GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）、主管会计工作负责人陈伟文及会计机构负责人（会计主管人员）陈伟文保证季度报告中财务报表的线 本公司第一季度报告未经审计。
2021年一季度营业收入较上年同期增长46.24%，主要系：受益于市场行情及公司产品的竞争优势，刻蚀设备和MOCVD设备收入分别为3.48亿元和1.33亿元，较上年同期分别增长63.75%和76.85%。
2021年一季度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约0.17亿元，由亏损转为盈利，主要系：（1）公司本期营业收入增长46.24%，同时本期毛利率为40.92%，较上年同期的33.86%增长约7.06个百分点，公司本期毛利较上年同期增加约1.07亿元；（2）本期股份支付费用较上年同期增加约0.51亿元；（3）由于员工人数和员工薪酬的增长，以及研发消耗材料的增加，本期不含股份支付费用的销售费用、管理费用和研发费用合计较上年同期增加约0.37亿元。
2021年一季度归属于上市公司股东的净利润较上年同期增加约1.12亿元，增长约425.36%，主要系：（1）扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约0.17亿元；（2）本期计入当期损益的政府补助较上年同期增加约1.43亿元；（3）公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3亿元而间接持有中芯国际集成电路制造有限公司（以下简称“中芯国际”）科创板股票，因本期中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动损失约0.24亿元。
2.2 截止报告期末的股东总数、前十名股东、前十名无限售条件股东持股情况表
2.3 截止报告期末的优先股股东总数、前十名优先股股东、前十名优先股无限售条件股东持股情况表
3.4 预测年初至下一报告期期末的累计净利润可能为亏损或者与上年同期相比发生重大变动的警示及原因说明
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2021年4月27日召开第一届董事会第十九次会议及第一届监事会第十四次会议，审议通过了《关于续聘公司2021年度审计机构的议案》，公司拟续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度审计机构。该议案尚需提交公司股东大会审议，现将相关事宜公告如下：
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“普华永道中天”）前身为1993年3月28日成立的普华大华会计师事务所，经批准于2000年6月更名为普华永道中天会计师事务所有限公司；经2012年12月24日财政部财会函[2012]52号批准，于2013年1月18日转制为普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）。注册地址为中国（上海）自由贸易试验区陆家嘴环路1318号星展银行大厦507单元01室。
普华永道中天是普华永道国际网络成员机构，拥有会计师事务所执业证书，也具备从事H股企业审计业务的资质，同时也是原经财政部和证监会批准的具有证券期货相关业务资格的会计师事务所。此外，普华永道中天也在US PCAOB（美国公众公司会计监督委员会）及UK FRC（英国财务汇报局）注册从事相关审计业务。普华永道中天在证券业务方面具有丰富的执业经验和良好的专业服务能力。
普华永道中天的首席合伙人为李丹。截至2020年12月31日，普华永道中天合伙人数为229人，注册会计师人数为1359人，其中自2013年起签署过证券服务业务审计报告的注册会计师人数为327人。
普华永道中天经审计最近一个会计年度（2019年度）业务收入总额为人民币56.46亿元，审计业务收入为人民币54.35亿元，证券业务收入为人民币29.50亿元。
普华永道中天的2019年度A股上市公司财务报表审计客户数量为89家，上市公司财务报表审计收费为人民币5.69亿元，主要行业包括制造业，金融业，交通运输、仓储和邮政业，房地产业及批发和零售业等，与本公司同行业(制造业)的A股上市公司审计客户共40家。
在投资者保护能力方面，普华永道中天已按照有关法律法规要求投保职业保险，职业保险累计赔偿限额和职业风险基金之和超过人民币2亿元，职业风险基金计提或职业保险购买符合相关规定。普华永道中天近3年无因执业行为在相关民事诉讼中承担民事责任的情况。
普华永道中天及其从业人员近三年未因执业行为受到刑事处罚、行政处罚以及证券交易所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分；普华永道中天也未因执业行为受到证监会及其派出机构的行政监管措施。普华永道中天四名初级员工因其个人投资行为违反独立性相关规定，于2019年收到上海证监局对其个人出具的警示函，上述个人行为不影响普华永道中天质量控制体系的有效性或涉及审计项目的执业质量，该四名人员随后均已从普华永道中天离职。根据相关法律法规的规定，上述行政监管措施不影响普华永道中天继续承接或执行证券服务业务和其他业务。
项目合伙人及签字注册会计师：林晓帆，注册会计师协会执业会员，2005年起成为注册会计师，2002年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，2002年起开始在本所执业，近3年已签署或复核2家上市公司审计报告。
质量复核合伙人：傅文轩，注册会计师协会执业会员，2004年起成为注册会计师，2004年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，1999年起开始在本所执业，近3年已签署或复核6家上市公司审计报告。
签字注册会计师：胡玉琢，注册会计师协会执业会员，2014年起成为注册会计师，2014年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，2011年起开始在本所执业，近3年已签署或复核1家上市公司审计报告。
就拟聘任普华永道中天为中微公司的2021年度审计机构，项目合伙人及签字注册会计师林晓帆先生、质量复核合伙人傅文轩先生及拟签字注册会计师胡玉琢先生最近3年未受到任何刑事处罚及行政处罚，未因执业行为受到证券监督管理机构的行政监督管理措施，未因执业行为受到证券交易所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分。
2020年度审计费用为人民币295万元。本期审计费用按照市场公允合理的定价原则与会计师事务所协商确定。
公司董事会同意续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度审计机构，并提请股东大会授权公司管理层按市场价格洽谈确定审计报酬。
公司独立董事对本次续聘财务审计机构事项进行了审核并发表了事前认可意见和同意的独立意见，公司董事会审计委员会发表了同意意见，公司监事会发表了同意意见，具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（）的《独立董事关于公司第一届董事会第十九次会议审议的相关事项的事前认可意见》、《独立董事关于第一届董事会第十九次会议相关议案的独立意见》及《第一届监事会第十四次会议决议公告》。
公司董事会审计委员会在认线年度审计机构的议案》后，同意续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度审计机构，并同意授权公司管理层按照市场情况，综合考虑参与审计工作的项目组成员的经验、级别、投入时间和工作质量综合确定2021年度审计费用。
本次续聘会计师事务所事项尚需提交公司股东大会审议，并自公司股东大会审议通过之日起生效。
本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）第一届监事会第十四次会议于2021年4月27日在公司会议室以现场结合通讯会议方式召开。本次会议的通知于2021年4月19日通过电话及邮件方式送达全体监事。会议应出席监事3人http://xlqmzg.com，实际到会监事3人，会议由监事会主席余峰先生主持。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定，会议决议合法有效。
（一）审议通过《关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年第一季度报告的议案》
根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年第一季度报告》（全文与正文）。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年第一季度报告》（全文与正文）。
公司拟使用额度不超过70,000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。
公司使用部分闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金使用效率，不会影响募集资金使用，不存在变相改变募集资金用途的行为，不存在损害公司和全体股东利益的情况，相关审批程序符合法律法规及公司募集资金管理办法的规定。同意公司使用额度不超过70,000万元闲置募集资金进行现金管理。
鉴于中微公司原任监事余峰于2021年4月23日辞去公司监事一职，现补选邹非为中微公司第一届监事会新任监事，任期至本届监事会任期届满之日止。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于补选第一届监事会监事的公告》。
根据财务活动的持续性特征，公司拟定2021年度续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司进行2021年度财务报告和内部控制的审计，并授权公司管理层按照市场情况，综合考虑参与审计工作的项目组成员的经验、级别、投入时间和工作质量综合确定2021年度审计费用。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于续聘2021年度会计师事务所的公告》。
本公司及监事会全体成员保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事余峰先生于2021年4月23日申请辞去公司第一届监事会监事职务。余峰先生辞去监事后，将不在公司担任任何职务。该事项详见公司于2021年4月24日披露于上海证券交易所网站（）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于公司监事辞职的公告》（公告编号：2021-025）
根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等规定，公司股东巽鑫（上海）投资有限公司（持股17.45%）提名邹非女士（简历附后）为第一届监事会非职工代表监事候选人。
截至本公告披露日，邹非女士未持有本公司股票，不存在《公司法》第一百四十六条中规定的不得担任公司监事的情形，不存在被中国证监会确定为市场禁入者且尚在禁入期的情形，也不存在被证券交易所公开认定不适合担任上市公司监事的情形，未受过中国证监会、证券交易所及其他有关部门处罚和惩戒，不属于失信被执行人，符合《公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规及《公司章程》规定的任职资格。
公司监事会于2021年4月27日召开第一届监事会第十四次会议，审议通过了《关于补选公司监事的议案》，一致同意推荐邹非女士为公司第一届监事会监事候选人，任期自公司2021年第二次临时股东大会审议通过之日起至公司第一届监事会届满之日止。
邹非女士，1985年出生，中国国籍，无境外永久居留权。本科学历，毕业于北京大学经济学院金融系。2008年至2013年，任中国国际金融有限公司投资银行部高级经理；2013年至2015年，任国开投资发展基金管理（北京）有限责任公司经理；2015年至2021年，历任国开金融有限责任公司风险管理部高级经理、风险与法律合规部副总经理、投资管理部副总经理；2021年至今，任华芯投资管理有限责任公司风险管理部副总经理。
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2021年4月27日召开第一届董事会第十九次会议及第一届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70,000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自第一届董事会第十九次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了明确同意的独立意见，保荐机构亦对出具了明确的核查意见。本次事项无需提交股东大会审议。具体情况公告如下：
根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]1168），公司于2019年7月首次公开发行A股53,486,224股，每股发行价29.01元人民币，募集资金总额为人民币155,163.54万元，扣除发行费用人民币10,593.26万元后，实际募集资金净额（下称“募资净额”）为人民币144,570.28万元。上述募资资金已由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具普华永道中天验字（2019）第0411号《验资报告》予以确认。
公司依照规定对募集资金采取了专户存储管理，开立了募集资金专户，并与保荐机构、募集资金专户监管银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》，具体情况详见公司于2019年7月19日披露于上海证券交易所网站（）的首次公开发行股票科创板上市公告书。
因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，现阶段募集资金在短期内出现部分闲置的情况。
在确保不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，公司根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等相关规定，拟使用部分首发暂时闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，降低公司财务费用，增加公司收益。
公司拟使用额度不超过70,000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。
为控制募集资金使用风险，公司使用暂时闲置的募集资金通过结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。
公司不会将闲置募集资金用于投资以股票、利率、汇率及其衍生品种、无担保债券为主要投资标的理财产品。上述投资产品不得质押。
在公司董事会授权的投资额度范围内，董事长行使该项投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由财务部负责组织实施。
公司将按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等相关法律、法规及其他规范性文件的规定要求，及时披露公司现金管理的具体情况。
公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。
尽管公司选择低风险投资品种的现金管理产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量的介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。
公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理仅限于购买安全性高且流动性好、不影响公司日常经营活动的投资产品。公司按照决策、执行、监督职能相分离的原则建立健全相关投资的审批和执行程序，确保投资事宜的有效开展、规范运行，以及资金安全。拟采取的具体措施如下：
1、公司将根据经营安排和资金投入计划选择相适应的现金管理产品种类和期限等，确保不影响公司日常经营活动的正常进行。
2、在实施期间及时分析和跟进现金管理品种的投向、项目进展情况，一旦发现或判断有不利因素，将及时采取措施，控制投资风险。
3、独立董事、监事会有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。
4、公司必须严格按照《上市公司监督指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。
1、公司运用部分首发闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募集资金投资项目的进度和确保资金安全的前提下进行的，不影响公司募集资金投资项目的开展。
2、公司通过对首发暂时闲置的募集资金进行现金管理，可以提高资金使用效率，增加公司收益。
1、公司使用不超过70,000万元人民币的暂时闲置募集资金进行现金管理的事项已通过公司董事会、监事会审议批准，全体独立董事亦发表明确同意的独立意见，履行了必要的审批程序，符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等文件的有关规定。
2、公司使用部分闲置募集资金进行现金管理有助于提高公司募集资金使用效率，提升公司经营效益，对募集资金投资项目建设进度和募集资金的正常使用不存在不利影响，且不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情况。
综上所述，保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项无异议。
在确保不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，公司拟通过结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理：
（1）在保证资金安全和流动性的前提下，公司拟使用闲置募集资金进行现金管理，有利于提高闲置募集资金的使用效率，提高投资回报。
（2）公司进行现金管理的募集资金主要用于安全性高且流动性好、不影响公司日常经营活动的投资产品。
（3）公司本次使用闲置募集资金进行现金管理，没有与募集资金的使用用途相抵触，不影响募集资金投资项目的正常进行，也不存在变相改变募集资金投向以及损害公司股东利益的情形，符合中国证监会、上海证券交易所有关法律法规的规定，符合公司和全体股东的利益。
（4）公司使用部分闲置募集资金进行现金管理已经按照相关法律法规及《公司章程》的相关规定履行了审批程序。
公司使用部分闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金使用效率，不会影响募集资金使用，不存在变相改变募集资金用途的行为，不存在损害公司和全体股东利益的情况，相关审批程序符合法律法规及公司募集资金管理办法的规定。
股东大会召开的地点：上海市浦东新区泰华路188号中微公司二号楼三楼2303会议室
出席会议的普通股股东、特别表决权股东、恢复表决权的优先股股东及其持有表决权数量的情况：
本次会议由董事会召集，由董事长尹志尧主持，以现场投票与网络投票相结合的方式进行表决。会议的召集、召开与表决符合《公司法》及《公司章程》的规定。
1、 议案名称：关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年年度报告及摘要的议案
4.01议案名称：关于与上海华力微电子有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.02 议案名称：关于与上海华力集成电路制造有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.03议案名称：关于与华灿光电（浙江）有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.04议案名称：关于与上海芯元基半导体科技有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.05议案名称：关于与拓荆科技股份有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.06议案名称：关于与上海集成电路研发中心有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.07议案名称：关于与睿励科学仪器（上海）有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.08议案名称：关于与南昌昂坤半导体设备有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.09议案名称：关于与昂坤视觉(北京)科技有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.10议案名称：关于与上海微电子装备(集团)股份有限公司2021年年度日常关联交易预计的议案
4.11议案名称：关于与Solayer GmbH 2021年年度日常关联交易预计的议案
应回避表决的关联股东名称：4.01上海创业投资有限公司；4.02上海创业投资有限公司；4.04 Zhiyou Du（杜志游）；4.05巽鑫（上海）投资有限公司、Gerald Zheyao Yin（尹志尧）；4.06上海创业投资有限公司；4.07巽鑫（上海）投资有限公司、Gerald Zheyao Yin（尹志尧）；4.08嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）、嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）、嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）、嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）；4.09嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）、嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）、嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）、嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）；4.10上海创业投资有限公司；4.11 Zhiyou Du（杜志游）。9 Gerald Zheyao Yin（尹志尧）、Zhiyou Du（杜志游）
本所律师认为，公司2020年年度股东大会的召集和召开程序、召集人资格、出席会议人员资格及表决程序等，均符合《公司法》、《上市公司股东大会规则》等法律、法规、规章和其他规范性文件及《公司章程》的有关规定，本次股东大会的表决结果合法有效。
（三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式
采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。
涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所上市公司股东大会网络投票实施细则》等有关规定执行。
本次提交股东大会审议的议案已经公司第一届董事会第十九次会议、第一届监事会第十四次会议审议通过。相关公告已于2021年4月28日在上海证券交易所网站（）及《中国证券报》、《上海证券报》、《证券时报》、《证券日报》予以披露。公司将在2021年第二次临时股东大会召开前，在上海证券交易所网站(登载《2021年第二次临时股东大会会议资料》。
（一） 本公司股东通过上海证券交易所股东大会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。
（二） 同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。
（一） 股权登记日下午收市时在中国登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东大会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。
1、法人股东：应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。法定代表人出席会议的，应出示法人股东股票账户卡、本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场。
2、个人股东：个人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明、股票账户卡；委托代理他人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。
兹委托先生（女士）代表本单位（或本人）出席2021年5月18日召开的贵公司2021年第二次临时股东大会，并代为行使表决权。
委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。
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