研制出邦内第一台电介质刻蚀机

　　最近60年，从计算机电子管到纳米器件，人类微观加工面积缩小到原来的一万亿分之一，指甲盖大小的芯片能够集成几百亿个晶体管，而集成电路加工设备的创新和进步是实现万亿倍缩小的关键环节。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）成立于2004年，是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司，深耕芯片制造刻蚀领域，研制出国内第一台电介质刻蚀机，是我国集成电路设备行业的领先企业。

　　全球半导体设备市场由国外厂商主导，行业呈现高度垄断格局，“不对称竞争”是我国集成电路设备产业的主要发展矛盾。成立之后，中微公司克服研发经费不对称、人才资源不对称、准入门槛不对称等重重困难，2015年以全球领先技术打破美国对我国等离子体刻蚀设备的出口管制；2018年自主研制的5纳米等离子体刻蚀设备通过全球领先的晶圆制造厂验证http://xlqmzg.com，，跻身国际第一梯队；2019年成为首批登陆科创板的25家企业之一。

　　目前，受通讯、汽车电子等产业强劲需求的推动，一方面半导体设备市场需求不断增大，另一方面芯片供应短缺传导至供应链各个环节，叠加国际政治、经济环境变化，局面愈加错综复杂。未来，中微公司如何继续在国际垄断的夹缝中突围辟新天，我们拭目以待。